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バッファーコンベヤー
水平式バッファーコンベヤー40枚
水平式バッファーコンベヤー40枚
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本装置は、前の装置から入ってきた基板をバッファー部にストックし、ストックした順番に後の装置へ送り出す装置です。モード選択スイッチにて基板をストックするかスルーするか選択可能です。
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