Lラック式投入機

製品情報	本装置は、ラックにセットされた基板を吸着パットとアームシリンダーにてコンベヤー上に投入する装置です。ラックのまま基板を投入することが可能のためテーブルに移し換える手間が無くなります。また基板リトライモードを選択時、２枚取りを確認するとコンベヤー上の基板を自動でラックに戻し再度投入動作を行うことが可能です。