ウィケットラック投入機

製品情報	本装置は、ウィケットラックにセットされた基板を傾斜部基板昇降ユニットの爪に基板を乗せ、ハネ上げコンベヤー部まで基板を搬送し、ハネ上げコンベヤーが回転して基板を投入する装置です。傾斜部基板昇降ユニットの爪での搬送方法のため基板表面の接触を軽減することが可能です。